Soft-mask fabrication of gallium arsenide nanomembranes for integrated quantum photonics
Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › fagfællebedømt
Originalsprog | Engelsk |
---|---|
Artikelnummer | 484002 |
Tidsskrift | Nanotechnology |
Vol/bind | 26 |
Udgave nummer | 48 |
ISSN | 0957-4484 |
DOI | |
Status | Udgivet - 4 dec. 2015 |
ID: 153371559