Laterally graded multilayers and their applications
Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning
Originalsprog | Engelsk |
---|---|
Tidsskrift | Journal of Vacuum Science & Technology A |
Udgave nummer | 19 (4) |
Sider (fra-til) | 1421-1424 |
Status | Udgivet - 2001 |
ID: 164623